检查真空泵及管路：，及时更换磨损的部件，保持系统的密封性。 更换涂层材料：根据工艺要求定期更换或补充涂层材料。 6. 安全问题 高温高压防护：运行过程中注意设备高温部位及高压源，避免意外接触。 真空系统安全：设备工作时避免突然打开真空室，以防止设备损坏或发生事故。 常见故障及排除方法 1、真空度达不到标准 故障现象：启动真空泵后，真空度达不到设定值。
可能的原因： 密封件已损坏或过期。 连接管道泄漏。 真空泵故障。 补救： 检查并更换密封件。 检查管道连接并消除漏气。 检查真空泵的工作情况，必要时进行维修或更换。 2.喷涂不均匀 故障 哈萨克斯坦电报筛查 现象：镀膜厚度不均匀，有斑点或阴影。 可能的原因： 背衬未牢固固定。 喷射目标已损坏。 气流不稳定。 故障排除： 确保背板牢固固定以避免晃动。 检查目标表面，如有必要请更换。 调节气体流量，使其在设定的范围内。 3.电源异常 故障现象：电源指示灯不亮或设备无法启动。 可能的原因： 电源故障或插头松动。 保险丝烧断了。
故障排除方法： 检查插头和电源线的连接情况。 检查保险丝，如有必要，请更换。 4. 异常噪音 故障现象：设备运行过程中出现异常噪音。 可能的原因： 真空泵工作不正常。 运动部件磨损或缺油。 补救： 检查真空泵的工作情况，清洁或更换必要的零部件。 检查运动部件，加油或更换磨损部件。 5. 溅射靶过热 故障现象：溅射靶材温度过高，可能造成靶材损坏。 可能原因： 喷涂功率设置过高。